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2022年, 第46卷, 第5期 刊出日期:2022-05-15
  

  • 全选
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    集成电路制造
  • 杨津宇, 杨军, 白晓蓉, 任政钢, 刘成卫, 龚轩, 胡亮, 阮晓东
    液压与气动. 2022, 46(5): 1-17. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.001
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。
  • 闵为, 米智强, 李成, 王卓锋, 胥敏
    液压与气动. 2022, 46(5): 18-25. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.002
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    隔膜阀由于结构简单、密封性好、耐腐蚀和耐磨损等特点被广泛应用于流体控制系统中。超纯水隔膜阀隔膜一般由PTFE或PFA材料制成,在不同驱动方式的作用下隔膜产生不同程度的变形,从而导致阀口流动特性呈现明显差异。采用流固耦合的计算方法,研究了在手动和电磁两种驱动方式下,隔膜提升相同高度时的隔膜形变和阀口流动特性。结果表明,两种驱动方式的流量-压力系数均为线性关系,且电磁驱动隔膜阀流量-压力系数大于手动驱动;由于两种驱动方式作用下隔膜受力状态不同,导致电磁驱动隔膜阀的流量增益近似为恒定值,而手动驱动隔膜阀的隔膜发生了明显的偏置现象,其流量压力特性表现出明显的非线性特征。
  • 颖惠民, 付婧媛, 刘范, 苏芮, 阮晓东
    液压与气动. 2022, 46(5): 26-35. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.003
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    聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度迅速降低并最终保持在一个稳定值,而车刀材料和是否使用切削液也对PTFE机械加工后的表面形貌有非常显著的影响;通过共聚焦激光显微镜和原子力显微镜(AFM),在不同的尺度下观察了加工后PTFE的表面形貌,为从微观层面解释聚四氟乙烯机械加工后表面形貌的形成提供了直观的观测结果,从而揭示了表面形貌与车削加工参数的映射关系,并为氟塑料车削工艺的优化提供了指导性依据。
  • 史有程, 李峥, 闵为
    液压与气动. 2022, 46(5): 36-45. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.004
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    隔膜泵是Urea-SCR系统中使用最广泛使用的动力单元,其流量稳定性对系统计量精度有较大影响。受隔膜易变形及配流阀参数的影响,隔膜泵瞬时流量易出现较大波动。要避免或减小这种瞬时流量波动现象,必须进行隔膜泵动态特性分析。鉴于隔膜泵结构及材料特点,提出了一种双向FSI模型,经试验验证,该模型可有效预测隔膜泵动态特性。分析结果显示,减小压出阀弹簧刚度、压出阀阀芯质量及压出阀开启压力均可在一定程度上减小隔膜泵瞬时流量波动现象。所采用方法及所得结果可为相近产品的分析提供理论参考。
  • 吴祥伟, 王龙飞, 申慧敏
    液压与气动. 2022, 46(5): 46-52. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005
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    为了满足半导体和化工领域等对超洁净流体控制的新需求,针对一种新型超洁净电磁阀开展动态特性仿真与优化。首先介绍其工作原理,并利用COMSOL_Mutiphysics软件对其进行有限元仿真,得到其动态响应特性曲线。然后分析了电磁阀的线圈匝数、工作间隙和衔铁厚度对其响应特性的影响。最后利用遗传算法对电磁阀进行动态响应的多目标优化,可以得到其优化后电磁阀的吸合时间由原来的10.4 ms缩短至9.2 ms,降低了11.5%;释放时间由9.5 ms缩短至8.0 ms,降低了15.7%。超洁净电磁阀的响应特性得到一定改善,为以后的优化设计提供指导。
  • 黄旭晨, 李勇, 罗中伦, 庞继红
    液压与气动. 2022, 46(5): 53-61. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.006
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    液压冲击是影响膜片电磁阀频繁启动和可靠运行的重要因素,根据先导式膜片电液开关阀产生的关阀水锤压力作用机理及经验公式,提出通过分析稳态管道流速和瞬态关阀时间来预测水锤压力特性的方法,在此基础上建立先导式膜片电液开关阀的稳态流场有限元模型和关阀过程数学模型,探讨关键结构参数对水锤压力的影响规律,并确定样机设计参数。实验结果和仿真结果基本一致,表明该方法可以准确预测水锤压力,样机在0.1~0.5 MPa范围内水锤压力近似成比例线性增加,且在0.5 MPa压力下瞬间关阀产生的水锤压力小于0.1 MPa,满足膜片电液开关阀对关阀水锤压力标准的要求,可用于远距离的流体输送系统。
  • 医工结合
  • 崔岩, 王玉龙, 董榕波, 李蕾, 李海, 马松云, 刘银水
    液压与气动. 2022, 46(5): 62-73. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.007
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    计算流体力学被广泛用于可吸入药物在真实人体呼吸道区域沉积的研究,但存在计算效率不高的难点,无法满足临床应用所需。通过使用全结构化网格划分支气管树,应用k-ω SST、Transition SST、RSM-SSG和LES等湍流模型求解真实人体呼吸道流场,并与实验测量结果对比,验证不同湍流模型在计算真实人体呼吸道流场中的差异。在节约计算时间的同时,提出一套适合真实人体呼吸道模拟的快速且精确的流场仿真方法,并发现RSM-SSG湍流模型的计算结果与实验结果最为接近,为呼吸道计算流体力学仿真模拟的临床应用提供参考和依据。
  • 黄峰, 雷欢, 王利军, 李其朋
    液压与气动. 2022, 46(5): 74-78. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.008
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    体外模拟循环系统是心室辅助装置研发的重要测试平台。为了实现体外模拟循环系统中气动模拟左心室压力的控制,从密封容器腔气体压力和温度微分方程以及电比例阀节流口流量公式出发,建立了气动模拟左心室装置完整的数学模型,设计了基于双闭环反馈的模拟左心室压力控制器。控制器和模拟左心室模型在MATLAB/Simulink软件中进行了联合数值模拟。数值模拟的结果表明,模拟左心室压力控制误差小,验证了气动模拟左心室装置及其压力控制方法的可行性。
  • 林子祺, 于勇, 张宇
    液压与气动. 2022, 46(5): 79-86. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.009
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    为了探究使用计算流体力学(Computational Fluid Dynamics, CFD)评估离心血泵性能时采用非定常模拟方法的必要性,对美国食品药品监督管理局(Food and Drug Administration, FDA)提供的标准模型进行数值仿真,分别使用定常单坐标系(Single Reference Frame, SRF)与非定常动静区域耦合的滑移网格模拟方法对4个工况进行模拟并与实验结果进行对比。 结果表明,定常SRF预测的泵内速度场与实验结果误差在4%以内;非定常滑移网格的误差为2%以内,且确定系数相较定常SRF平均高0.4。对于溶血系数的计算,两种方法均未给出准确的定量预测。 因此对于血泵流场的计算,非定常滑移网格模型与定常SRF模型相比,有一定的准确度上的提升,但并不明显。
  • 黄世帆, 周茂瑛, 傅阳, 王利明
    液压与气动. 2022, 46(5): 87-93. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.010
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    雾化吸入是临床上常用的介入手段,可帮助气管切开患者进行机械通气,也能够以更有效地方式为呼吸道疾病患者给药。研究从雾化的基本原理着手,分析典型雾化器的几何结构,根据作用机理将雾化过程划分为毛细上升,喷口雾化及撞击回流和气溶胶喷出等三个阶段,并结合流体体积法对雾化过程所涉及到的二相流动进行数值分析。稳态分析结果验证了喷口处由于气流压力小于大气压而产生的负压,确认了毛细上升过程中驱动药液运动的核心动力。瞬态分析结果发现药液沿着液膜-液丝-液滴的流程逐渐雾化成液滴。这些分析结果厘清了雾化器的基本工作过程,对后续雾化器的性能表征和结构优化设计具有指导意义。
  • 强彦, 柴铭堃, 陈奕泽, 安贞嬛, 魏列江
    液压与气动. 2022, 46(5): 94-102. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.011
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    磁流变液阻尼器具有阻尼可控、能耗低、对外界激励响应快等特点,因此基于磁流变液阻尼器的下假肢成为目前假肢应用领域的研究热点。现有磁流变液阻尼器体积较大且笨重,而且初始阻尼力较大,用于下假肢膝关节时无法对人体步态进行良好地模拟,从而降低了人体运动过程中的步态质量和患者的舒适程度。因此,提出一种应用在下假肢膝关节的孔隙结合式磁流变液阻尼器,孔隙结合式磁流变液阻尼器响应快、模拟出的步态拟人性强、结构轻巧、易更换、使用寿命长且价格低廉,可满足截肢患者对假肢的性能及外观要求。
  • 微流控
  • 伍青林, 张仕凯, 陈东
    液压与气动. 2022, 46(5): 103-117. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.012
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    由于传质传热效果优异、反应选择性好、安全稳定等优势,微反应器已经被广泛应用于学术研究和工业应用的众多方面。研究归纳总结近几年微反应器的设计与应用,首先介绍微反应器的制作材料及其加工工艺,其次总结微反应器通道设计强化传质和传热的常用方法,然后介绍微反应器的最新应用进展,包括合成有机化合物/聚合物、纳米颗粒、能源物质以及生物医药等,最后对微反应器的设计和应用进行总结和展望。为微反应器的选材、加工制造、优化设计以及应用等方面提供有效指导。
  • 杨紫薇, 李磊, 杨磊, 金少搏, 张传禹, 韦学勇
    液压与气动. 2022, 46(5): 118-125. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.013
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    微液滴是一种十分优秀的微反应器,在化学合成、生物检测及细胞研究等领域应用广泛。近年来,声表面波微流控技术发展迅速,在微液滴制备中具有重要应用前景。首先简单回顾了微液滴和声表面波微流控的研究发展历程,然后重点介绍了声表面波微流控液滴生成的工作原理、器件结构、液滴生成过程及工艺参数等;同时介绍了声表面波微流控核壳微液滴的可控生成机理及其制造过程。最后总结并展望了该技术在生化检测、生物3D打印等领域的应用前景。
  • 刘旭玲, 左文思, 刘威, 王良文, 张段芹, 李松晶
    液压与气动. 2022, 46(5): 126-132. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.014
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    研究提出一种基于气动薄膜的微混合器及基于数字图像的混合效率量化分析方法。给出了利用RGB(Red,Green,Blue)色彩模型、灰度转换模型和方差数学模型对微混合腔内不同试剂的混合程度量化分析方法,并利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料和软刻蚀方法对微混合芯片进行封装。采用实验研究方式使微混合腔内两种不同颜色试剂充分混合,利用混合程度量化分析方法对微混合腔内混合效率进行量化分析,并与自然对流混合效率进行对比。与传统计算混合效率的方法相比,基于RGB色彩模型的混合效率量化方法更简单、直观、有效和方便。
  • 王效文, 杨丽红, 孙福佳
    液压与气动. 2022, 46(5): 133-137. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.015
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    微混合器作为一种可以实现快速、高效的混合设备在生物分析、化学反应和检测等领域中应用,特斯拉阀因其简单的结构和特殊的流动机理常应用于微混合器的结构设计中。为提高混合效率,在特斯拉型混合器中添加菱形障碍物,并基于流场分析对其布局进行了优化和实验验证。以混合率和压降比值最大为优化目标对菱形障碍物在特斯拉型微混合器布局进行优化,经过优化得最优菱形障碍物尺寸为46.35μm,最优横向偏移量为18.78 μm,最优竖向偏移量为20 μm。基于优化结果,设计并制作了添加菱形障碍物的特斯拉型微混合器并对微混合器的混合效果进行实验验证。结果表明设计优化的菱形障碍物特斯拉型微混合器与未添加障碍物时的特斯拉型微混合器相比在相同条件下具有更高的混合效率。
  • 王陈向, 李旭生, 李翔, 刘永江, 田峰, 张雪芬
    液压与气动. 2022, 46(5): 138-145. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.016
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    过滤器具备自清洁、重复利用、长寿命等特性是未来绿色发展的要求。采用改性纳米SiO2粉末和聚二甲基硅氧烷组成的悬浮涂液一步喷涂制备仿生自清洁涂层,该涂层对多种基体和复杂液体环境具有普适应。通过调节悬浮涂液中改性纳米SiO2粉末的质量分数来控制涂层的润湿性能,当改性纳米SiO2粉末质量分数为30%时制备的涂层具有超疏水特性。所制备的仿生涂层具有出色的耐酸碱溶液性能、机械耐久性能和自清洁性能,特别是其高效的油水分离性能有望用于高品质油水分离过滤器的设计,进而提高流体动力系统中液体的洁净度,延长流体元件寿命。
  • 软体机器人
  • 王影杰, 金苗, 刘思佳, 郝歆, 刘春宝
    液压与气动. 2022, 46(5): 146-151. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.017
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    骨骼肌被认为是一种强大的、灵活的、多功能的生物驱动器。随着软材料、柔性机器人和仿生学的不断进展,基于流体驱动的仿骨骼肌柔性驱动器因其呈现出明显学科交叉特性,成为当下研究热点。因此,以骨骼肌肌肉-肌腱结构概念为设计引导,开发一种大规模并行结构的高度仿骨骼肌柔性驱动器,称为仿肌肉-肌腱系统柔性驱动器。开展柔性驱动器应力,应变和力-速度测试。实验结果显示柔性驱动器的应力达到0.32 MPa, 提升载荷40 kg, 应变为11.7%,并具备与骨骼肌非常接近的力-速度特征。实现了高功率密度,高应力应变,高输出力和固有力学特性集成,并实现关节转动和摆动的应用。
  • 刘思远, 张京涛, 王杰, 邓亦杰, 辛闯庭
    液压与气动. 2022, 46(5): 152-158. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.018
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    在兼顾软体抓持装置顺应性的前提下,为进一步提升其承载能力,提出一种采用磁流变液变刚度控制的流体驱动式模块化软体仿生象鼻机构。建立了仿生象鼻关节变形量和刚度理论数学模型;利用有限元分析方法基于Yeoh模型对不同结构参数的仿生象鼻关节进行了变形仿真分析,在相同压力下优选出了变形量最大的模型结构和确定了最佳输入气体压力值;对关节变形后两端电磁铁的叠加磁场分布进行了有限元仿真,通过分析磁场分布均匀性初步确定了两端电磁铁形成磁场的最佳距离即关节长度;最后对不同长度关节进行了变形仿真分析,综合考虑磁场分布均匀性和变形量,通过两者的最优组合确定最终关节长度,验证了仿生象鼻的多自由度变形和可变刚度特性。
  • 李丽, 刘超, 赵苓
    液压与气动. 2022, 46(5): 159-166. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.019
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    针对带有迟滞非线性的气动运动模拟平台的轨迹跟踪提出了带有切换扩张状态观测器的自抗扰控制方法。气动运动模拟平台的迟滞非线性特性主要指气动人工肌肉在正向充气反向放气时长度和拉力曲线的差异。针对此特性设计了切换扩张状态观测器来估计和补偿模型非线性,分别对于气动人工肌肉正反向充放气的不同模型采用不同的观测器增益,以提高状态估计效果,减小跟踪误差。进一步,设计了状态误差反馈控制器,得到了基于切换扩张状态观测器的二阶非线性动态系统全局有界稳定的充分条件。最后实验结果证实了所设计的切换扩张状态观测器的实际效果。
  • 极端工况
  • 司国雷, 陆亮, 陈君辉, 梁中栋, 李梦如
    液压与气动. 2022, 46(5): 167-174. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.020
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    燃油调节器是航空发动机控制系统乃至整个飞行器的核心部件之一。目前,国际上主流发展趋势为,用数字电子控制系统取代传统的机械液压调节结构,整合其他飞行控制系统,实现飞行器集成数字化自动控制。我国航空发动机燃油调节器虽然已有一些数字电子式的示范应用,但实际使用仍以技术成熟的机械液压式为主,且长期依赖进口或测绘仿制国外产品。研究航空发动机燃油调节器工作原理和技术演变、分析应用示例、总结关键技术,对开展航空发动机燃油数字控制方法自主研发以及产品研制,具有参考价值。
  • 郑哲, 王晓冬, 王飞, 方璐, 韩冬, 龚国芳, 杨华勇
    液压与气动. 2022, 46(5): 175-181. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.021
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    地层动态测试器逐渐成为石油勘探与开发领域中不可或缺的重要设备。其中,液压系统工作稳定性易受到井下极端环境影响,因此迫切需要通过仿真手段预先判断其潜在缺陷并加以优化。首先介绍地层动态测试器液压系统组成,分析其工作原理及系统特性;其次应用Automation Studio软件搭建仿真模型,设置各元件的结构参数和工作参数;接着对八种工作状态进行仿真,获取液压泵出口压力、执行元件行程等关键参数,对系统潜在缺陷进行分析,提出相应的优化设计方案。
  • 李 潼, 沈乐刚, 童彦, 熊壮, 蒋昊宜, 刘浩, 欧阳小平
    液压与气动. 2022, 46(5): 182-189. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.022
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    管路清洗与耐压试验是飞机液压系统装配生产过程中的关键流程,直接影响飞机可靠性和安全性。传统管路清洗与耐压试验操作步骤复杂,效率低下,且会不可避免的造成接口损伤。提出了ZigBee无线控制的飞机液压管路清洗与耐压试验系统,利用与液压元件相同管路接口的无线假件模块对液压管路进行通断控制,自主设计了系统总体构型、元件机械结构、电气硬件、软件以及控制程序,系统的所有元件对磷酸酯基液压油均具有良好的耐腐蚀性。实际测试结果表明,该系统能够实现液压管路清洗与耐压试验的无线智能化控制,大幅提升了液压系统装配生产的效率、便捷性和智能性,还为航空器液压系统智能化装配生产提供了关键接口。
  • 田祖织, 吴向凡, 谢方伟, 季锦杰, 郭阳阳
    液压与气动. 2022, 46(5): 190-195. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.023
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    针对磁流变液传动装置扭矩调控过程中时间响应长问题,分析了励磁线圈、涡流和磁滞对磁路时间响应特性的影响机理,设计并搭建了磁流变液传动装置实验平台,开展了输出扭矩响应时间实验。理论分析和实验结果表明:改变励磁线圈参数和抽头数量可有效缩短电流响应时间;优化磁路尺寸和减小材料电导率可减小涡流影响;磁滞对响应时间影响显著,撤销线圈电流响应时间比施加电流时增加了一倍。
  • 刘鑫宇, 赵保准, 王志文, 熊伟
    液压与气动. 2022, 46(5): 196-202. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.024
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    低温环境中液压元件动态特性对系统整体性能与功能的影响至关重要。为研究电液伺服比例阀在低温环境中受到高温油液热冲击载荷时动态性能的变化,在设计的低温液压综合试验系统中对某型电液伺服比例阀进行了不同温度下的冷启动与热冲击阶跃响应特性和频率响应特性试验。对比分析测试结果表明,无论是冷启动还是热冲击工况下,随着环境温度降低,油液黏度增加,被试阀的响应时间都会逐渐变长。热冲击工况下的响应时间比冷启动工况下短,但相较于常温启动要长。当环境温度越接近于油液工作的极限低温,其对阀动态性能的影响越显著。
  • 张伟, 冯志强, 黄柱林
    液压与气动. 2022, 46(5): 203-208. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.025
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    针对沉船水下抽油过程中重油加热的需求,提出一种基于电磁感应原理利用油舱外板加热重油的方法,根据电磁理论及热传导理论建立了加热过程的数学模型,使用有限元软件进行数值模拟,得出重油加热过程温度衰减规律,利用油舱模型进行重油加热模拟实验,测量油舱加热过程重油温度变化及衰减规律。通过模型进行重油水下电磁加热的验证可知,实验结果与数值仿真重油加热温度变化规律有良好的匹配性。该电磁加热重油技术设备简单、加热效率较高,在防止沉船燃油泄漏领域具有较好的应用前景。
  • 孙安欣, 谢方伟, 赵呈向, 田祖织, 石修伟
    液压与气动. 2022, 46(5): 209-214. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.026
    摘要 ( ) PDF全文 可视化 收藏
    针对传统磁流变阀流道间隙固定,可控性能差等问题,设计了一种新型流道间隙可调式磁流变阀。采用Ansoft Maxwell电磁场仿真软件对其进行了电磁场仿真,得到了磁感线分布规律以及磁感应强度随路径的变化规律。建立了阀口压降数学模型,并对其进行计算分析,得出了磁流变阀的流量、控制电流、阻尼间隙等参数与压降之间的定量关系。结果表明,当励磁电流为1.5 A、径向流道间隙为0.5 mm时,总压降可达最大值7095 kPa;磁流变阀总压降与电流和流量成正相关,与径向间隙成负相关。研究成果可以为磁流变阀的设计提供一定的理论参考。
  • 张万顺, 孟帅, 李鑫, 王钧
    液压与气动. 2022, 46(5): 215-220. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.027
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    为探究飞机刹车系统的振动规律,以航空机轮刹车装置为研究对象,通过对刹车装置的受力分析建立了刹车扭转振动和轴向振动的力学模型,建立刹车振动系统的频率方程,计算出扭转和轴向固有频率,采用m+p动态测试软件对力学模型和固有频率进行验证,理论与试验结果基本一致。在惯性试验台上进行刹车振动测试,通过理论计算和试验结果初步得出了刹车振动规律,为航空机轮刹车装置的设计和改进提供了依据。