先导式膜片电液开关阀水锤压力预测及实验

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.006

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液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 53-61. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.006

集成电路制造

先导式膜片电液开关阀水锤压力预测及实验

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Prediction and Experimentalof Water Hammer Pressure of Pilot Operated Diaphragm Electro-Hydraulic On/Off Valve

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Received	Revised	Published
2021-09-22	2021-11-15	2022-05-15
Issue Date
2022-05-26

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