超洁净电磁阀动态特性仿真与优化

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005

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液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 46-52. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005

集成电路制造

超洁净电磁阀动态特性仿真与优化

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Simulation and Optimization of Dynamic Characteristics of Ultra-clean Solenoid Valve

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Received	Revised	Published
2021-12-07	2021-12-27	2022-05-15
Issue Date
2022-05-26

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