超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.003

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液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 26-35. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.003

集成电路制造

超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响

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The Influence of Cutting Parameters on Surface Morphology and Roughness During the Ultra-Clean PTFE Turning Process

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Received	Revised	Published
2021-10-31	2021-11-27	2022-05-15
Issue Date
2022-05-26

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