不同驱动方式下超纯水隔膜阀阀口流动特性研究

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.002

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液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 18-25. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.002

集成电路制造

不同驱动方式下超纯水隔膜阀阀口流动特性研究

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Flow Characteristics of Ultrapure Water Diaphragm Valve under Different Driving Modes

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Received	Revised	Published
2021-11-10	2021-12-18	2022-05-15
Issue Date
2022-05-26

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