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基于PSO-BP-PID的直拉单晶炉坩埚旋转速度控制系统研究
彭　鑫　高德东　王　珊　徐圣哲　高俊伟
Research on crucible rotation speed control system of Czochralski single crystal furnace based on PSO-BP-PID
PENG Xin et al
制造业自动化 . 2023, (12): 100 -104 . 

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