基于PSO-BP-PID的直拉单晶炉坩埚旋转速度控制系统研究

彭　鑫　高德东　王　珊　徐圣哲　高俊伟

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制造业自动化 ›› 2023, Vol. 45 ›› Issue (12) : 100-104.
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基于PSO-BP-PID的直拉单晶炉坩埚旋转速度控制系统研究

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Research on crucible rotation speed control system of Czochralski single crystal furnace based on PSO-BP-PID

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