个人简介：

耿延泉，工学博士，哈尔滨工业大学机电工程学院长聘教授、博士生导师、国家自然科学基金优秀青年科学基金获得者、入选中国科协“青年人才托举工程”、哈尔滨工业大学青年科学家实验室负责人。主要从事微纳米加工及检测、智能微纳传感器制备方面的应用基础研究工作。主持国家自然科学基金、黑龙江省头雁自主课题等科研项目20余项。以一作/通讯作者在International Journal of Machine Tools and Manufacture、Engineering、Nano Letters、International Journal of Extreme Manufacturing等SCI期刊上发表高水平论文100余篇，授权国家发明专利10余项。荣获教育部自然科学二等奖，担任《极端制造》国际期刊副主编、《Advanced Equipment》国际期刊副主编、《金刚石与磨料磨具工程》期刊编委、《制造业自动化》期刊青年编辑委员会副主任委员、中国自动化学会制造技术专业委员会委员。

u基于力伺服原理的微纳米机械加工装置研制及加工技术

u采用纳米切片技术制备基于多种材料纳米线传感器

代表性研究成果：

（1）提出了基于AFM的纳米结构高效加工新方法：提出了基于探针与样品间高频相对运动的纳米铣削加工新方法，将基于AFM纳米机械加工速度提高了近千倍；提出了基于材料堆积原理的纳米机械加工新工艺，实现了高密度纳米结构的高效加工；制备了纳流控芯片、拉曼增强基底、衍射光栅等器件。

图1 高频纳米铣削加工示意图、加工实例、纳流控芯片光镜图及其应用展示

（2）研制了基于微力控制原理的跨尺度微纳米结构机械加工新装置：研制了基于微力控制原理的5轴微纳米机械加工系统，建立了刀具法向力与加工深度之间的理论模型，揭示了微力作用下纳米结构的加工机理，实现了跨尺度微纳结构的高精度加工，解决了惯性约束聚变用弱刚度微靶球表面纳米结构加工的难题，为下一代纳米精度机床的设计与制造提供了新的思路。

图2 基于微力控制原理的5轴微纳米加工装置、在弱刚度、微小球面上加工微纳米结构原理及加工结果

（3）提出了采用纳米切片法制备毫米长度纳米电极的新方法：提出了采用纳米切片法制备毫米长度纳米金属线的新方法，揭示了采用直线刃刀具切削纳米金属薄膜制备毫米长度纳米线的加工机理，提出了纳米电极封装的新工艺方法，并研制了纳米电极振动模式的微力伺服模块，实现了纳米精度的空间定位，为纳米尺度材料电化学特性检测提供了技术支撑。

图3 纳米切片法制备纳米线示意图、所制备的纳米线SEM和TEM图、单线纳米电极制备和典型电化学检测实例