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亚微米级工业高精度激光位移传感器设计与实现
孙继红, 王廷军, 陈腾飞
Design and Implementation of Sub-Micrometer High-Precision Laser Displacement Sensor
SUN Ji-hong, WANG Ting-jun, CHEN Teng-fei
制造业自动化 . 2024, (7): 163 -169 .  DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2024.07.026

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