基于Hybrid方法的薄膜电阻率与透光率高通量检测系统设计研究

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任俊, 刘禹, 廖成, 何绪林, 孙如昊

Research on high throughput detection system of thin film resistivity and transmittance based on Hybrid method

REN Jun, LIU Yu, LIAO Cheng, HE Xu-lin, SUN Ru-hao

制造业自动化 . 2022, (10): 34 -37 .