基于检测器控制腔室清洗的组合设备 晶圆驻留延迟优化

潘春荣，徐菁文

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制造业自动化 ›› 2023, Vol. 45 ›› Issue (2) : 36-42.
加工与制造

基于检测器控制腔室清洗的组合设备 晶圆驻留延迟优化

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Optimization of wafer delay time of cluster tool with chamber cleaning operation controlled by detector

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