基于弹性薄板气浮垫的精密研抛机部件设计与分析

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2013.08.026

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液压与气动 ›› 2013, Vol. 0 ›› Issue (8) : 93-96. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2013.08.026

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基于弹性薄板气浮垫的精密研抛机部件设计与分析

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Design and Analysis on Parts of Precise Lapping and Polishing Machine Based on Floatation Cushion with Elastic Sheet

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Received	Published
2012-11-28	2013-08-15
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2013-08-15

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