集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

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集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

唐金鑫, 李培源, 陈波, 周临震

Fluid Characteristics of Pneumatic Diaphragm Valves for Integrated Circuits

TANG Jin-xin, LI Pei-yuan, CHEN Bo, ZHOU Lin-zhen

液压与气动 . 2023, (5): 135 -142 . DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018