集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018

PDF(6825 KB)

液压与气动 ›› 2023, Vol. 47 ›› Issue (5) : 135-142. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018

理论研究

集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Fluid Characteristics of Pneumatic Diaphragm Valves for Integrated Circuits

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

History +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

基金

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J].{{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2023, 47(5): 135-142. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2023, 47(5): 135-142. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

版权

PDF(6825 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

Received	Revised	Published
2022-11-07	2023-01-16	2023-05-15
Issue Date
2023-05-22

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

基金

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

版权

模态框（Modal）标题

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

基金

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

版权