半导体气体流量控制器原位校准装置研究

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2025.01.010

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液压与气动 ›› 2025, Vol. 49 ›› Issue (1) : 90-94. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2025.01.010

元件分析与优化

半导体气体流量控制器原位校准装置研究

{{article.zuoZhe_CN}}

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Research on In-situ Calibration Device of Gas Flow Controller for Semiconductor

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2025, 49(1): 90-94. https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2025.01.010

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2024-09-18	2024-11-20
Issue Date
2025-01-23

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