感光干膜微结构模具制备关键技术

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2024.02.003

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液压与气动 ›› 2024, Vol. 48 ›› Issue (2) : 18-24. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2024.02.003

工程技术

感光干膜微结构模具制备关键技术

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Key Technologies for the Fabrication of Photographic DryFilm Microstructure Molds

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Received	Revised	Published
2022-02-16	2023-07-11	2024-02-15
Issue Date
2024-03-01

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