采用硅流体芯片的气动位置控制系统特性研究

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2020.06.024

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液压与气动 ›› 2020, Vol. 0 ›› Issue (06) : 152-159. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2020.06.024

理论研究

采用硅流体芯片的气动位置控制系统特性研究

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Characteristics of the Pneumatic Position Control System with the Silicon Valve

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Received	Published
2019-11-20	2020-06-15
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2020-06-15

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