硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2019.12.017

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液压与气动 ›› 2019, Vol. 0 ›› Issue (12) : 107-113. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2019.12.017

理论研究

硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析

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Modeling, Simulation and Geometric Parameter Influences of Silicon Valve

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2019-02-20	2019-12-15
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2019-12-15

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