微尺度下空气静压支撑在滑移区的承载特性实验研究

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2017.02.005

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液压与气动 ›› 2017, Vol. 0 ›› Issue (2) : 22-26. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2017.02.005

理论研究

微尺度下空气静压支撑在滑移区的承载特性实验研究

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Experimental Study on Bearing Characteristics of Air Static Pressure Support at Micro Scale in Slip Region

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Received	Published
2016-10-24	2017-02-10
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2017-02-10

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