电液-压电混合伺服驱动精密定位机构建模及仿真

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2014.05.015

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液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (5) : 71-74. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.05.015

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电液-压电混合伺服驱动精密定位机构建模及仿真

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Modeling and Simulation of Electro-hydraulic-piezoelectric Hybrid Servo-driven Positioning Mechanism

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Received	Published
2013-12-05	2014-05-15
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2014-05-15

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