热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2014.01.004

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液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (1) : 13-17. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.01.004

研究设计

热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

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Simulation Analysis and Process Design of Membrane in Thermally Actuated Micro-valve

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Received	Published
2013-10-31	2014-01-15
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2014-01-15

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