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基于气动高速开关阀的容腔压力精确控制
孙志涵, 王涛, 王波
Accurate Pressure Control of Chamber Using Pneumatic High-speed On/Off Valve
SUN Zhi-han, WANG Tao, WANG Bo
液压与气动 . 2023, (1): 146 -150 .  DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2023.01.017

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